Приведены примеры использования в радиотехнических устройствах микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного вида: коммутаторов, актюаторов, датчиков физических величин, гироскопов, акселерометров и других. Представлена классификация датчиков инерции: акселерометров, гироскопов. Приведены принципы работы и характеристики различных типов микроактюаторов и датчиков давления, а также технические характеристики МЭМС-генераторов компаний SiTime, Vectron Interna-tional, Discera.
Рассмотрены принципы работы и параметры МЭМС-резонаторов. Изложены особенности построения резонаторов и генераторов на основе МЭМС. Осуществлен расчет собственных мод колебаний МЭМС-резонатора в программе ANSYS.
Издание предназначено для студентов радиотехнических специальностей.
Название: Микроэлектромеханические системы Автор: Косых А.В. Язык: Русский Издательство: Омск: ОмГТУ Жанр: АППАРАТУРА Год выхода: 2016 Формат: pdf Страниц: 247 Размер: 10 Мб
Скачать Косых А.В. - Микроэлектромеханические системы
К "Косых А.В. - Микроэлектромеханические системы" пока нет комментариев, но Вы можете стать первым, кто его оставит!
Всего мнений: 0
Ищу на сайте
Случайный анекдот
Человек выходит из аптеки. Его догоняет запыхавшаяся аптекарша: - Гражданин, вы сейчас взяли глюконат кальция. Верните его обратно. - Почему? - Я по ошибке выдала вам цианистый калий. - А я его уже выпил. - Тогда доплатите скорее 7 рублей.
